半導體器件高低溫測試設備（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。

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更新時間：2025-08-12

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半導體高低溫測試機

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產品介紹

半導體器件高低溫測試設備（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，并采用變頻控制及兩級閉環節能控制，顯著地提高了Chiller的穩定性、控制精度和響應速度。

半導體器件高低溫測試設備特點：

變頻控制，智能PID控制

預測控制及自適應控制

模塊化功能定制，高效節能

兩級閉環節能控制